SEM测试,TEM分测试析设备工作原理-材料研发及测试权威专家-上海剂拓材料科技

扫描电子显微镜（SEM）

扫描电镜成像是利用细聚焦高能电子束在样件表面激发各种物理信号，通过相应的检测器来检测这些信号，信号的强度与样品表面形貌有一定的对应关系，因此，可将其转换为视频信号来调制显像管的亮度得到样品表面形貌的图像。

SEM工作图

电子发射图

透射电子显微镜（TEM）

透射电镜是把经加速和聚焦的电子束投射到非常薄的样件上，电子与样品中的原子碰撞，而改变方向，从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此，可以形成明暗不同的影像，影像将在放大、聚焦后在成像器件上显示出来。

TEM工作动图

TEM成像过程