ICP-MS是一个以质谱仪作为检测器的等离子体（ICP），而质谱学家则认为ICP-MS是一个以ICP为源的质谱仪。ICP-OES测量的是光学光谱（165～800nm），ICP-MS测量的是离子质谱，提供在3～250amu范围内每一个原子质量单位（amu）的信息，因此，ICP-MS除了元素含量测定外，还可测量同位素。AAS是原子吸收光谱，因为只利用原子光谱中单色光照射，所以只能检测一种元素的含量，不过检测限比较低而且重现性比较好。ICP-OES是原子发射光谱，检测原子光谱中的多条谱线，检测限也比较低，而且多通道可以同时检测多种原子和离子，比较方便，重现性也不错。ICP-MS是ICP质谱联用，利用质谱检测同位素含量来检测元素的含量，检出限最低，效果最理想。适用范围：AAS用于已知元素含量的检测；ICP可以用于已知，也可以用于未知，适合多元素分析；ICP-MS由于比较贵而且检出限最低，一般是用作标准测量的时候。
1、检出限
ICP-MS的检出限给人极深刻的印象，其溶液的检出限大部份为ppt级（必需记牢，实际的检出限不可能优于你实验室的清洁条件），石墨炉AAS的检出限为亚ppb级，ICP-OES大部份元素的检出限为1~10ppb，一些元素在洁净的试样中也可得到令人注目的亚ppb级的检出限。必须指出，ICP-MS的ppt级检出限是针对溶液中溶解物质很少的单纯溶液而言的，若涉及固体中浓度的检出限，由于ICP-MS的耐盐量较差，ICP-MS检出限的优点会变差多达50倍。一些普通的轻元素（如S、Ca、Fe 、K、Se）在ICP-MS中有严重的干扰，也将恶化其检出限。
2、干扰
ICP-MS的干扰：质谱干扰、基体酸干扰、双电荷离子干扰、基体效应、电离干扰、空间电荷效应。ICP-OES干扰：光谱干扰、基体效应、电离干扰。GFAAS干扰：光谱干扰、背景干扰、气相干扰、基体效应。
3、线性动态范围
ICP-MS具有超过105的LDR，各种方法可使其LDR开展至108。但不管如何，对ICP-MS来说：高基体浓度会导致许多问题，而这些问题的最好解决方案是稀释。正由于这个原因，ICP-MS应用的主要领域在痕量/超痕量分析。GFAAS的LDR限制在102～103，如选用次灵敏线可进行高一些浓度的分析。ICP-OES具有105以上的LDR且抗盐份能力强，可进行痕量及主量元素的测定，ICP-OES可测定的浓度高达百分含量，因此，ICP-OES外加ICP-MS，或GFAAS可以很好地满足实验室的需要。
4、精密度
ICP-MS具有超过105的LDR，各种方法可使其LDR开展至108。但不管如何，对ICP-MS来说：高基体浓度会导致许多问题，而这些问题的最好解决方案是稀释。正由于这个原因，ICP-MS应用的主要领域在痕量/超痕量分析。GFAAS的LDR限制在102～103，如选用次灵敏线可进行高一些浓度的分析。ICP-OES具有105以上的LDR且抗盐份能力强，可进行痕量及主量元素的测定，ICP-OES可测定的浓度高达百分含量，因此，ICP-OES外加ICP-MS，或GFAAS可以很好地满足实验室的需要。
5、样品分析能力
ICP-MS有惊人的能力来分析大量测定痕量元素的样品，典型的分析时间为每个样品小于5分钟，在某些分析情况下只需2分钟。Consulting实验室认为ICP-MS的主要优点即是其分析能力。ICP-OES的分析速度取决于是采用全谱直读型还是单道扫描型，每个样品所需的时间为2或6分钟。全谱直读型较快，一般为2分钟测定一个样品。GFAAS的分析速度为每个样品中每个元素需3～4分钟，晚上可以自动工作，这样保证对样品的分析能力。
