AFM(原子力显微镜)测试
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AFM(原子力显微镜)测试
AFM(原子力显微镜)用于测试材料表面形貌结构信息及表面粗糙度信息。
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AFM(原子力显微镜)原理 AFM将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定,另一端有一微小的针尖,针尖与样品表面轻轻接触,由于针尖原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥力,通过在扫描时控制这种力的恒定,带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。利用光学检测法或隧道电流检测法,可测得微悬臂对应于扫描各点的位置变化,从而可以获得样品表面形貌的信息。 仪器型号:Bruker Dimension Fast Scan 仪器技术参数 质量范围:(2~1023)amu X-Y扫描范围: 35μm x 35μm(典型值), 30μm 小值)Z扫描范围: ≥3um 纵向噪音水平: <40pm RMS 值(在合适的环境下,典型的成像带宽高可达 625Hz X-Y 针尖速度: >2mm/S(1% 轨迹误差)Z 针尖速度: 12mm/S X-Y噪声(闭环): ≤0.20 nm RMS,标准成像带宽,(可达2.5 Hz)
Z噪声(闭环): 30pm RMS,标准成像带宽,(可达625HZ) 送样要求及注意事项 1mm<长度宽度<20mm 薄片测试实例 服务流程
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