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SEM测试_扫描电镜检测
SEM测试_扫描电镜检测
SEM测试_扫描电镜检测用于测试材料表面形貌,外观,粒径,元素组成及其分布。
  • 描述
  • 应用领域
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SEM测试(扫描电镜)用于检测材料表面形貌,测试材料外观形貌;分析材料的粒径,测定元素组成及测量其分布。

Ø  SEM原理

样品表面加一个强电场,样品表面势垒降低,由于隧道效应,样品金属内部的电子穿过势垒从金属表面发射出来,这种现象称场发射。亮度高约比普通SEM100倍,分辨率可达10nm.

Ø  仪器型号:ZEISS Merlin Compact

 Ø  仪器技术参数

ü  二次电子分辨率: 1.4nm (1 kV,减速模式)

ü  放大倍率: x 20~ x 800,000

ü  电子枪: 冷场发射电子源

Ø  送样要求及注意事项

ü  粉状样品50-100mg之间

ü  块状样品不能大于5mm宽,高度小于5mm.

ü  样品有磁性一定要告知。

Ø  测试实例

SEM测试
SEM检测
Mapping测试

Ø  服务流程


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