XPS测试(光电子能谱)用于检测材料表面元素半定性分析,化学价态分析,腐蚀层厚度。

Ø  XPS原理

X射线光电子能谱(XPS),基于光电离作用，当一束光子辐射到样品表面时，光子可以被样品中某一元素的原子轨道上的电子所吸收，使该原子解脱原子核的束缚，以一定的动能从原子内部发射出来，变成自由的光电子，而原子本身则变成一个激发态的离子。当固定激发源能量时，其光电子的能量仅与元素的种类和所电离激发的原子轨道有关，由此根据光电子的结合能定性分析物质的元素种类。经X射线辐照后，从样品表面射出的光电子的强度与样品中该原子的浓度呈线性关系，可以进一步进行元素的半定量分析。另外，XPS的重要应用是对元素的化学价态进行分析。

Ø  仪器型号：Thermo Scientific K-Alpha

Ø  仪器技术参数

ü  离子源：100-4000eV

ü  束斑直径：1-10mm

ü  溅射速率范围：0.1-50nm/min

ü  采样深度：金属0.5-2nm，无机物1-3nm，有机物3-10nm

Ø  送样要求及注意事项

ü  固体粉末：均匀干燥，粒度小于70um（过200目），质量不少于100 mg；

ü  块体、金属及薄膜样，长宽小于10mm，高度小于5mm。

ü  含有挥发性、油污污染物的样品许提前去除. 带有磁性的样品,一定提前告知,否则设备损坏。

Ø  测试实例

Ø  服务流程

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